品牌:爱德华 | 型号:爱德华 | 材质:铸钢 |
原理:真空泵 | 驱动方式:电动 | 用途:其他 |
功率:1(kw) kw | 极限压力:1(pa) pa | 外形尺寸:1 |
规格:1 |
爱德华真空泵/EDWARDS真空泵/爱德华罗茨真空泵
EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
功能和优势
技术数据
型号 | EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
排量(工作容积) | 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 | 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 | 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 | 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 | 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1 |
使用前级泵时的有效抽速 | 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 | 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 | 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 | 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 | 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1 |
泵的压力差 | 0-180 mbar/0-140 Torr | 0-110 mbar/0-83 Torr | 0-90 mbar/0-68 Torr | 0-80 mbar/0-60 Torr | 0-60 mbar / 0-45 Torr |
进气口连接 | ISO63 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO250 |
出口连接 | ISO40 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO100 |
转速 | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm |
连续进气口工作压力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
出口压力 | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr |
推荐的前级泵 | GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 | GV80,E2M80 | GV160、GV250、 | GV250、GV400、 | GV400、E2M275 |
电机功率 |
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碳氢化合物 | 2.2 kW / 3 hp | 2.2 kW/3 hp | 3 kW/4 hp | 11 kW/15 hp | 11 kW/15 hp |
PFPE | 1.5 kW / 2 hp | 1.5 kW/2 hp | 3 kW/4 hp | 7.5 kW/10 hp | 11 kW/15 hp |
ATEX | 2.2 kW | 2.2 kW | 3 kW | 11 kW | 11 kW |
防爆 | 3 hp | 3 hp | 4 hp | 15 hp | 15 hp |
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